История

Техническое и технологическое совершенствование четырехмассового МЭМС гироскопа, разработка многоосных мультимассовых гироскопов и акселерометров, расширение номенклатуры выпускаемых изделий

— Проводится модернизация  микромеханических преобразователи угловой скорости пятого поколения

— Ведется разработка СБИС СнК второго поколения

— Начата разработка многоосных конструктивных решений чувствительных элементов в одном кристалле

— Организация крупносерийного производства МЭМС

— Начата разработка микротопливного элемента

— Начата разработка RF-переключателя

— Начата разработка датчиков вакуума емкостного и мембранного типов

— Начата разработка магнитометрического трехосного преобразователя интегрированного с трехосным акселерометром