История
Четвертое поколение МЭМС гироскопов с двумя инерционными массами
Произведен переход на мультимассовые схемы МЭМС гироскопов.
Разработаны микромеханические преобразователи угловой скорости и линейного ускорения четвертого поколения: повышена стабильность характеристик преобразователей и их точность; повышена устойчивость МЭМС к широкополосной случайной вибрации, уменьшены массогабаритные характеристики БИЧЭ и БИНС:
- масса — с 360до 250 г
- объем — с 148 до 125 см3