История
Первое поколение МЭМС гироскопов типа R-R и маятниковых акселерометров
Разработаны и изготовлены микромеханические преобразователи угловой скорости (гироскопы) и линейного ускорения (акселерометры) первого поколения с аналоговым выходом.
Разработаны и изготовлены микромеханические преобразователи угловой скорости (гироскопы) и линейного ускорения (акселерометры) первого поколения с аналоговым выходом.