утонение кремниевых пластин, со следующими параметрами:

                Диаметр пластин – до 100 мм;           Плоскопараллельность – не более 3 мкм;    

               Шероховатость поверхности – менее 10 нм;  

               Минимальная толщина утонения:      На носителе – 20 мкм;      Без носителя – 50 мкм.

 

 

                       Прецизионная установка полировки/шлифовки

                         с двумя рабочими станциями  EQ-Unipol-1202