сращиванию пластин (bonding)
со следующими параметрами:
Диаметр пластин –100 мм; Точность совмещения – менее 10 мкм;
Сращиваемые материалы:
Кремний+Кремний; Кремний+Стекло;
Кремний+Стекло+Кремний.
Среда сращивания: Вакуум; Атмосфера азота.
сращиванию пластин (bonding)
со следующими параметрами: