сращиванию  пластин (bonding) 

                 со следующими параметрами:

                   Диаметр пластин –100 мм;       Точность совмещения  –  менее 10 мкм; 
                             Сращиваемые материалы:
                   Кремний+Кремний;               Кремний+Стекло;
                   Кремний+Стекло+Кремний.
                                Среда сращивания:            Вакуум;       Атмосфера азота.
 

 

                                                                                                    Установка сращивания подложек AML — AWB04
< меню