травление кремния со следующими параметрами:

            Диаметр пластин –100 мм;

            Глубина травления – до 100 мкм;

            Наклон стенок – 90±1°;

            Низкая шероховатость стенок;

            Неравномерность по пластине – менее  10%

            Аспектное соотношение –  1:25 (для глубины 100 мкм);

Установка плазмохимического травления PlasmaPro®Estrelas100