травление кремния со следующими параметрами:

            Диаметр пластин –100 мм;
            Глубина травления – до 100 мкм;
            Наклон стенок – 90±1°;
            Низкая шероховатость стенок;
            Неравномерность по пластине – менее  10%
            Аспектное соотношение –  1:25 (для глубины 100 мкм);

Установка плазмохимического травления PlasmaPro®Estrelas100

< меню