История

Третье поколение МЭМС преобразователей – Микромеханические системы управления (МСУ)

 Разработаны и изготовлены микромеханические преобразователи угловой скорости и линейного ускорения третьего поколения поступательного типа чувствительные элементы с цифровым выходом. В состав изделий вошли капсулированные чувствительные элементы и специализированная сверхбольшая интегральная схема типа “система на кристалле” (СБИС СнК) многофункционального назначения, за счет чего удалось объединить цифровую и аналоговую части в одном кристалле. 

Освоены групповые технологии изготовления капсулированных микромеханических чувствительных элементов с сохранением требуемого уровня добротности (Q-фактора) на протяжении всего жизненного цикла изделия.

Снижены массогабаритные характеристики до

  • масса — с 700 до 360 г.,
  • объем — с 398 до 148 см3;