История

Первое поколение МЭМС гироскопов типа R-R и маятниковых акселерометров

Разработаны и изготовлены микромеханические преобразователи угловой скорости (гироскопы) и линейного ускорения (акселерометры) первого поколения с аналоговым выходом.