История

МЭМС технологии

Начало разработки и освоения производства информационно-управляющих микросистем. Ноу-хау нового направления стало интегрирование МЭМС 3-D технологий со СБИС управления, съема и обработки информации многоканальных микромеханических чувствительных элементов параметров движения.