История

Второе поколение МЭМС гироскопов и акселерометров типа L-L
Разработаны и изготовлены микромеханические преобразователи угловой скорости и линейного ускорения второго поколения в нескольких модификациях с аналоговым выходом.
Разработаны и изготовлены микромеханические преобразователи угловой скорости и линейного ускорения второго поколения в нескольких модификациях с аналоговым выходом.